本发明涉及一种用于执行光谱分析以对样品(12)的光谱进行评估的方法和设备，使用测量设备(11)，其中，初级辐射(15)从源(14)引导至样品(12)，其中，由于借助于初级辐射(15)对样品(12)的激发，次级辐射(17)由样品(12)或样品(12)的至少一层(13)发出，其中，次级辐射(17)的光谱由检测器(18)检测，至少一个检测到的光谱由检测器(18)送入计算机辅助评估设备(21)以用于评估，在评估设备中，至少一个检测到的光谱在至少一个第一网络结构(26)的至少一个分析用神经网络(22)中评估，至少一个分析用神经网络(22)被训练成用于光谱的定量分析，其中，第一网络结构(26)的神经网络(22)由使用模拟方法在物理模型(S＝P(ф))的基础上生成的多个模拟光谱训练，其中，训练具有第二分析用神经网络(46)的至少一个第二网络结构(41)，以用于对检测到的光谱的定性分析，其中，针对由神经网络(22、46)分析的光谱，输出关于样品(12)的至少一种元素浓度和/或至少一种元素标识的结果。